SEMICON 全自动晶圆接触角测量与 Mapping 系统

SEMICON 是 GBX Scientific（爱尔兰都柏林）面向半导体晶圆开发的接触角测量与 Mapping 系统。与常规台式接触角测量仪只做单点测量不同，SEMICON 通过自动 Y 轴与晶圆旋转平台，在 6 英寸和/或 8 英寸晶圆上完成 100% 全表面 Mapping：逐点测量接触角，并自动保存每个测量点的位置、图像与日期，最终形成整片晶圆的润湿性分布结果。

接触角是半导体工艺中判断表面状态的快速手段：清洗后的残留、HMDS 附着力促进层涂覆是否均匀、光刻胶与衬底之间的润湿匹配，都会直接反映为接触角与表面能的变化。SEMICON 还支持润湿包络（wetting envelope）研究，用于预测固体表面与液体之间的粘附行为。

• 接触角测量精度 ±0.1°，分辨率 0.01°；接触角自动校准。

• 表面张力测量精度优于 ±0.1 mN/m，分辨率 0.01 mN/m。

• 自动定位：Y 轴定位精度 ±10 µm，旋转轴定位精度 ±0.004°。

• 快速移动：Y 轴速度最高 100 mm/s，晶圆支撑旋转速度最高 50°/s。

• 整片 Mapping：6 英寸和/或 8 英寸晶圆 100% 全表面覆盖；Mapping 结果可保存不限数量，并按晶圆编号加载复核。

• 精密点胶：体积分配器精度 ±0.03 µL（全量程）。

• 零点定位程序：提供标准化零点定位流程，保证不同批次测量结果可比。

• 数据可追溯：每个测量点自动保存位置、图像与日期，Mapping 软件支持快速排序与复核。

• ESD 设计：整机采用 ESD 材料与 ESD 制造工艺（含 ESD 脚轮），晶圆上方配橙色 ESD 塑料保护盖。

• 洁净室可用：按洁净室环境使用要求设计。

• 晶圆安全：自动真空阀启动，确保晶圆定位稳定；随附 notch（定位缺口）。

• 平面度可调：晶圆支撑面支持平面度调节；大理石台面按仪器外形定制。

• 易维护：快开门设计，便于日常清洁与维护；配急停蘑菇按钮。

• 显示与存储：27 英寸 HDMI 显示屏 + VGA 屏支架；PC 配 RAID 控制器与双硬盘，数据自动保存。

• HMDS 研究：针位可重定位，液滴可回到同一位置，重复定位精度可达 50 µm，适合研究 HMDS 涂层的非均匀性。

常见问题

Q：晶圆接触角测量和普通接触角测量仪有什么区别？
A：普通接触角测量仪通常做单点或小样品测量；SEMICON 通过自动 Y 轴与旋转台对整片晶圆做 100% Mapping，并自动记录每个点的位置、图像和日期。

Q：为什么晶圆要做接触角 Mapping？
A：单点结果无法反映整片均匀性。Mapping 可以把清洗残留、HMDS 涂覆不均或局部污染定位到具体区域，便于工艺排查。

Q：支持哪些晶圆尺寸？
A：6 英寸和/或 8 英寸晶圆，支持 100% 全表面 Mapping。

Q：能否在洁净室或防静电环境使用？
A：可以。设备按洁净室使用设计，采用 ESD 材料与 ESD 脚轮，并在晶圆上方配置 ESD 保护盖。

Q：测量数据如何保存？
A：每个测量点的位置、图像和日期自动保存；主机配 RAID 控制器与双硬盘；Mapping 保存数量不限，可按晶圆编号加载复核。