晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统(8/12英寸)

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面向大尺寸晶圆研发和小批量生产的半自动UV照射装置,兼容8英寸和12英寸晶圆。采用照射器扫描式照射,操作员逐片放置,触摸屏控制

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