晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统（8/12英寸） EYE GRAPHICS 12英寸半自动UV照射 8英寸12英寸晶圆脱胶机 研发用大尺寸UV解胶 在线报价 申请报价单 请选择需求的类型 当前产品：晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统（8/12英寸） 其他 姓名 * 电话 * 邮箱 * 公司名称 * 上传文件 (最大 10MB) 需求描述 添加我到邮件列表 提交申请 或直接联系我们：+86(0512)-67229265 概述 - 面向大尺寸晶圆研发和小批量生产的半自动UV照射装置，兼容8英寸和12英寸晶圆。采用照射器扫描式照射，操作员逐片放置，触摸屏控制 优势 + ①专为大尺寸晶圆研发设计的半自动方案；②逐片投入，便于12英寸晶圆的工艺验证；③无需气源和氮气，安装条件简单；④触摸屏操作，降低操作门槛 性能 + 逐片处理大尺寸晶圆，便于工艺效果确认；4kW高功率灯管确保12英寸晶圆均匀照射；触摸屏操作界面，参数设定灵活 指标 + 设备尺寸 W920×D1440×H1470mm；灯管 4kW高压水银灯；发光长度 490mm；照射距离 160~250mm；扫描速度 30~150mm/sec；电源 Φ3 200V 50A；气源/氮气 无需接入【12†L1-L4】
