晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统(6/8英寸)

晶圆手动装载照射装置 半自动胶带剥离系统(6/8英寸) - 仪器综合网

面向研发(R&D)和小批量生产的半自动UV照射装置,兼容6英寸和8英寸晶圆。采用照射器扫描式照射,操作员逐片放置晶圆框架,触摸屏简易操作

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