ARIS-MD 模块式主动隔振器 原子力显微镜隔振 半导体设备隔振 主动隔振系统 ARIS-MD 在线报价 申请报价单 请选择需求的类型 当前产品：ARIS-MD 模块式主动隔振器 其他 姓名 * 电话 * 邮箱 * 公司名称 * 上传文件 (最大 10MB) 需求描述 添加我到邮件列表 提交申请 或直接联系我们：+86(0512)-67229265 概述 - 轻巧紧凑的模块式主动隔振系统，可抵消敏感设备的有害振动。简化的设计使其可以无缝地成为工作站环境的一部分，其直接的组成无需后续调整。应用领域：➤ 电子显微镜（SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam）➤ 半导体测试设备（光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM）➤ 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM➤ X-Ray、CT、MPI…… 优势 + ➤ 一个系统中无限数量的隔离器➤ 6 自由度➤ 负载：每个隔离器 100 - 1000 Kg➤ 薄型尺寸：270 x 230 x 75 mm➤ 可用的大负载 - 无限制➤ 能够支持大型机器，工具和系统➤ 特定应用的设计/产品/功能，以满足您的需求➤ 强大的诊断工具➤ 实时 2 通道示波器➤ 实时 2 通道频谱分析仪➤ 远程控制 性能 + 应用场景精密仪器， 扫描电子显微镜(SEM)， 透射显微镜(TEM)，原子力显微镜（AFM）， 光刻机。 指标 + 型 号ARIS MD 300ARIS MD 500ARIS MD 1000ARIS MD Pro 300ARIS MD Pro 500尺寸（宽x深x高）mm270x230x75270x230x75370x230x75230x230x75230x230x75承 重（kg）每个隔离器100-300（模块）模块数量不受限制每个隔离器200-500（模块）模块数量不受限制每个隔离器500-1000（模块）模块数量不受限制每个隔离器100-300（模块）模块数量不受限制每个隔离器200-500（模块）模块数量不受限制执行器力垂直 80 N，水平 40 N主动隔振频率0.5-100 Hz自由度6 自由度隔振性能1 Hz 时为-8 db，2 Hz 时为-20 db稳定时间<0.1 秒设 备所有类型实时诊断工具内置实时 2 通道示波器，实时 2 通道频谱分析仪
