AVISystem 主动隔振系统
热测测试技术（苏州）有限公司（THERMOTEST）的 AVISystem 主动隔振系统，采用传感器实时监测振动、控制器处理信号、执行器（压电/电磁等）产生反向力主动消除振动，在低频区域和共振区具备显著隔振优势，特别适用于超低频隔振和高精度隔振场景。系统系列涵盖 ARIS-MD 模块式主动隔振器（每个隔离器承重100–1000 kg，0.5–100 Hz主动隔振频率，-8 dB@1 Hz / -20 dB@2 Hz隔振性能，稳定时间＜0.1秒）、ARIS-TT 桌面式主动隔振器（承重5–200 kg可选，相同性能指标，内置实时诊断工具）、SOTO-MD 模块式被动隔振器（承重300/500 kg可调，20–40 Hz范围内降噪40 dB）及 SOTO-TT 桌面式被动隔振器。广泛应用于半导体量检测、混合键合、激光退火、电子显微镜（SEM/TEM/FIB）、原子力显微镜（AFM）、光刻机及光学平台等领域。
